Methods and apparatus for heating reagents and effluents in abatement systems

WO2009105433 Art A2 27. August 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009105433
Aktenzeichen: EP09712968
Anmeldetag: 17. Februar 2009
Veröffentlichung: 27. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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