Verfahren zur Aufrechterhaltung Niedrigster Dotierlevel in der Halbleiterfertigung

WO2009106400 Art A1 3. September 2009

Anmelder: Austriamicrosystems AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009106400
Aktenzeichen: EP09715797
Anmeldetag: 28. Januar 2009
Veröffentlichung: 3. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/22H01L21/223H01L21/225H01L21/324H01L29/868H01L31/105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Austriamicrosystems AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇦🇹 Austriamicrosystems

Austriamicrosystems, heute unter der Marke ams bekannt, ist ein österreichischer Halbleiterhersteller mit Fokus auf Sensorik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Elektronik- und Schaltungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Regelungstechnik. Die Anmeldungen stammen aus 2000 bis 2012.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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