Backside coating prevention device, coating chamber comprising a backside coating prevention device, and method of coating

WO2009106962 Art A2 3. September 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009106962
Aktenzeichen: EP09714357
Anmeldetag: 26. Februar 2009
Veröffentlichung: 3. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B05C3/18B05C1/16B05C5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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