Semiconductor device manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium

WO2009110330 Art A1 11. September 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009110330
Aktenzeichen: EP09718240
Anmeldetag: 20. Februar 2009
Veröffentlichung: 11. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3205C23C14/02C23C16/40H01L21/314H01L21/316H01L21/768H01L23/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von