Radiation-sensitive composition, polymer and monomer

WO2009110388 Art A1 11. September 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009110388
Aktenzeichen: EP09718245
Anmeldetag: 27. Februar 2009
Veröffentlichung: 11. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/26G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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