Control apparatus, aligning apparatus, control method and measuring apparatus

WO2009110599 Art A1 11. September 2009

Anmelder: National University Corporation Yokohama National University, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009110599
Aktenzeichen: EP09718049
Anmeldetag: 6. März 2009
Veröffentlichung: 11. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G05D3/12G01M13/02G05B13/02G05D17/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Yokohama National University
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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