Cmp slurry and a polishing method using the same

WO2009110729 Art A1 11. September 2009

Anmelder: LG Chem, Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009110729
Aktenzeichen
EP09717631
Anmeldetag
3. März 2009
Veröffentlichung
11. September 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02H01L21/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LG Chem, Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 LG Chem

Südkoreanisches Chemieunternehmen, das Batteriematerialien, Kunststoffe, petrochemische Produkte und pharmazeutische Wirkstoffe herstellt.

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