Low-temperature wafer level processing for mems devices

WO2009111874 Art A1 17. September 2009

Anmelder: The Royal Institution for the Advancement of Learning / McGill University 🇨🇦

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009111874
Aktenzeichen: EP09719118
Anmeldetag: 11. März 2009
Veröffentlichung: 17. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00H01L21/768B81B7/02H01L41/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Royal Institution for the Advancement of Learning / McGill University
Land: 🇨🇦 Kanada

🇨🇦 The Royal Institution for the Advancement of Learning / McGill University

Die Royal Institution for the Advancement of Learning ist die Trägerorganisation der kanadischen McGill University in Montreal. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, organische Chemie und Pharma/Biotechnologie, ergänzt durch Messtechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2002 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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