Plasma processing apparatus

WO2009113212 Art A1 17. September 2009

Anmelder: Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009113212
Aktenzeichen
EP08873264
Anmeldetag
3. Dezember 2008
Veröffentlichung
17. September 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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