Three-dimensional structure and method of manufacturing the same

WO2009113315 Art A1 17. September 2009

Anmelder: The University of Tokyo, Panasonic Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009113315
Aktenzeichen: EP09718932
Anmeldetag: 13. März 2009
Veröffentlichung: 17. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01L5/16B81B3/00G01L5/00H01L29/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Panasonic Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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