Graphene or graphite thin film, manufacturing method thereof, thin film structure and electronic device

WO2009113472 Art A1 17. September 2009

Anmelder: Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009113472
Aktenzeichen: EP09720169
Anmeldetag: 9. März 2009
Veröffentlichung: 17. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C01B31/04C23C16/02C23C16/26C23C16/42C30B29/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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