Autonomous biologically based learning tool
WO2009114387
Art A1
17. September 2009
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009114387
- Aktenzeichen
- EP09719989
- Anmeldetag
- 5. März 2009
- Veröffentlichung
- 17. September 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06F17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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