Apparatus and methods of nanopatterning and applications of same

WO2009114426 Art A1 17. September 2009

Anmelder: Board of Trustees of the University of Arkansas 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009114426
Aktenzeichen: EP09719031
Anmeldetag: 6. März 2009
Veröffentlichung: 17. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Trustees of the University of Arkansas
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Board of Trustees of the University of Arkansas

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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