Process for manufacture of packaged micro moving element, and packaged micro moving element

WO2009116162 Art A1 24. September 2009

Anmelder: Fujitsu Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009116162
Aktenzeichen: EP08722606
Anmeldetag: 21. März 2008
Veröffentlichung: 24. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L23/02B81B3/00B81C3/00G01P15/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujitsu Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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