Diruthenium complex and material and method for chemical vapor deposition

WO2009116191 Art A1 24. September 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009116191
Aktenzeichen: EP08792814
Anmeldetag: 4. September 2008
Veröffentlichung: 24. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C07C49/08C07C53/10C07C53/18C07C53/21H01L21/285C07F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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