Microstructure inspection method, microstructure inspection apparatus, and microstructure inspection program

WO2009116634 Art A1 24. September 2009

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009116634
Aktenzeichen: EP09722689
Anmeldetag: 19. März 2009
Veröffentlichung: 24. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00G01N23/225H01J37/22H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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