An apparatus for measuring the temperature of cyro em-holder specimen cradle and a method using it

WO2009116696 Art A1 24. September 2009

Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009116696
Aktenzeichen: EP08723664
Anmeldetag: 21. März 2008
Veröffentlichung: 24. September 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Basic Science Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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