Split field inspection system using small catadioptric objectives

WO2009117103 Art A2 24. September 2009

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009117103
Aktenzeichen
EP09723602
Anmeldetag
17. März 2009
Veröffentlichung
24. September 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G02B17/00G01B11/00G01N21/00G02B21/00G03F7/20G02B6/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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