Vacuum treatment device, method for manufacturing image display device using the vacuum treatment device, and electronic device manufactured by use of vacuum treatment device
WO2009118888
Art A1
1. Oktober 2009
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009118888
- Aktenzeichen
- EP08739185
- Anmeldetag
- 28. März 2008
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/04C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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