Defect inspection device using catadioptric objective lens

WO2009118966 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: Hitachi Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009118966
Aktenzeichen: EP08873520
Anmeldetag: 19. Dezember 2008
Veröffentlichung: 1. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G02B21/00H01L21/027H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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