Single crystal manufacturing apparatus and single crystal manufacturing method

WO2009118993 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009118993
Aktenzeichen
EP09724657
Anmeldetag
17. Februar 2009
Veröffentlichung
1. Oktober 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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