Combinatorial type plasma process testing method, and inclined plasma generating device

WO2009119101 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, Osaka University, Kyushu University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009119101
Aktenzeichen: EP09726290
Anmeldetag: 26. März 2009
Veröffentlichung: 1. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00H01L21/3065H05H1/24H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
Osaka University
Kyushu University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von