Colloidal silica with modified surface and polishing composition for cmp containing the same
WO2009119178
Art A1
1. Oktober 2009
Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009119178
- Aktenzeichen
- EP09724244
- Anmeldetag
- 16. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B24B37/00C01B33/149C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Adeka Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ADEKA Corporation
ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.
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