Colloidal silica with modified surface and polishing composition for cmp containing the same

WO2009119178 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009119178
Aktenzeichen
EP09724244
Anmeldetag
16. Februar 2009
Veröffentlichung
1. Oktober 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/00C01B33/149C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Adeka Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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