Temperature-measuring apparatus, and mounting table structure and heat treatment apparatus having the same

WO2009119418 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009119418
Aktenzeichen: EP09724554
Anmeldetag: 18. März 2009
Veröffentlichung: 1. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01K11/12C23C16/46H01L21/205H01L21/3065H01L21/31H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von