Optical member, light routing unit, and exposure apparatus

WO2009119780 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009119780
Aktenzeichen: EP09725190
Anmeldetag: 19. März 2009
Veröffentlichung: 1. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/02G02B1/10G02B5/04G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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