Thin film interconnect for electronic component, and sputtering target material for formation of thin film interconnect

WO2009119804 Art A1 1. Oktober 2009

Anmelder: Hitachi Metals, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009119804
Aktenzeichen
EP09723953
Anmeldetag
27. März 2009
Veröffentlichung
1. Oktober 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C22C27/04C23C14/34G02F1/1343G09F9/30H01B1/02H01L21/285H01L21/3205H01L23/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi Metals, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Proterial

Japanisches Unternehmen (frühere Firmierung Hitachi Metals), das Spezialstähle, Magnetwerkstoffe und Metallkomponenten für Industrie und Automobilbau herstellt.

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