Ion implanter, ion implantation method and program
WO2009122964
Art A1
8. Oktober 2009
Anmelder: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009122964
- Aktenzeichen
- EP09729164
- Anmeldetag
- 24. März 2009
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/317C23C14/48G21K1/087G21K1/093G21K5/04H01J37/04H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsui Engineering & Shipbuilding
Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.
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