Optical aperture device

WO2009124590 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009124590
Aktenzeichen: EP08749532
Anmeldetag: 9. April 2008
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/00G03F9/00G03F7/26G02B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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