A method of etching silicon wafers

WO2009125187 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: ISIS Innovation Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009125187
Aktenzeichen: EP09730763
Anmeldetag: 9. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/0368H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ISIS Innovation Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 ISIS Innovation

ISIS Innovation war die Technologietransfer-Gesellschaft der University of Oxford (heute Oxford University Innovation), über die Erfindungen der Universität patentiert und vermarktet wurden. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Pharma und Halbleitertechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis 2017 belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von