Heat equalizer and organic film forming apparatus

WO2009125497 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: National University Corporation Tohoku University, Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009125497
Aktenzeichen
EP08740302
Anmeldetag
11. April 2008
Veröffentlichung
15. Oktober 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/24C23C14/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National University Corporation Tohoku University
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.

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