Method and device for cutting substrate

WO2009125557 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Towa Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009125557
Aktenzeichen
EP09729996
Anmeldetag
2. April 2009
Veröffentlichung
15. Oktober 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/301B08B1/04B08B3/02B08B7/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Towa Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Towa

Towa ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterverpackung, insbesondere Formmaschinen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente und Kunststofftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen unter anderem Schneidvorrichtungen und -verfahren für gefertigte Bauteile.

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