Specimen observation method and device, and inspection method and device using the method and device

WO2009125603 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009125603
Aktenzeichen: EP09729706
Anmeldetag: 10. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225G01N23/203H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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