Process for producing nanostructure and apparatus for producing nanostructure

WO2009125762 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, The University of Electro-Communications, National University Corporation Kobe University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009125762
Aktenzeichen: EP09730567
Anmeldetag: 7. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B82B3/00H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Agency
The University of Electro-Communications
National University Corporation Kobe University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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🇯🇵 National University Corporation Kobe University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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