Film deposition apparatus and film deposition method

WO2009125803 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009125803
Aktenzeichen: EP09731356
Anmeldetag: 8. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C28/00C23C8/36C23C16/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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