Polishing apparatus, polishing auxiliary apparatus and polishing method

WO2009125835 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009125835
Aktenzeichen: EP09729451
Anmeldetag: 10. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B24B7/04B24B7/00B24B53/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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