A method of monitoring a surfactant in a microelectronic process by absorbance

WO2009126148 Art A1 15. Oktober 2009

Anmelder: Nalco Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009126148
Aktenzeichen: EP08733159
Anmeldetag: 8. April 2008
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nalco Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Nalco

Nalco ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Wasseraufbereitung und industrielle Prozesschemikalien, das heute zum Ecolab-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf anorganische Chemie und Werkstoffe sowie Farben, Klebstoffe und Verfahrenstechnik, ergänzt um Papier- und Zellstofftechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2001 bis 2015.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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