Isolation valve with corrosion protected and heat transfer enhanced valve actuator and closure apparatus and method

WO2009126578 Art A2 15. Oktober 2009

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009126578
Aktenzeichen: EP09729733
Anmeldetag: 6. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: F16K27/00F16K1/32F16K49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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