Plasma-Based Euv Light Source

WO2009126770 Art A2 15. Oktober 2009

Anmelder: University of Washington 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009126770
Aktenzeichen: EP09729635
Anmeldetag: 9. April 2009
Veröffentlichung: 15. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Washington
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Washington

Öffentliche Forschungsuniversität in Seattle, USA, mit umfangreicher Forschung in Medizin, Ingenieurwissenschaften und Informatik. Die Universität wurde 1861 gegründet.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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