Laser scribe inspection methods and systems
WO2009126910
Art A2
15. Oktober 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009126910
- Aktenzeichen
- EP09729278
- Anmeldetag
- 10. April 2009
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/78H01L31/042
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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