Winding vacuum film coating apparatus
WO2009128132
Art A1
22. Oktober 2009
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009128132
- Aktenzeichen
- EP08740374
- Anmeldetag
- 14. April 2008
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/58C23C14/14C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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