Cleaning water for electronic material, method of cleaning electronic material, and system for supplying water containing dissolved gases

WO2009128327 Art A1 22. Oktober 2009

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009128327
Aktenzeichen: EP09731977
Anmeldetag: 25. März 2009
Veröffentlichung: 22. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B08B3/08C11D7/02C11D17/08G02F1/13G02F1/1333G03F1/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kurita Water Industries Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

1.069 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

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