Thin film transistor and method for manufacturing thin film transistor
WO2009128372
Art A1
22. Oktober 2009
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009128372
- Aktenzeichen
- EP09732696
- Anmeldetag
- 8. April 2009
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L29/786H01L21/285H01L21/3205H01L21/336H01L23/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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