Methods and systems for determining a defect criticality index for defects on wafers
WO2009129105
Art A2
22. Oktober 2009
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009129105
- Aktenzeichen
- EP09731988
- Anmeldetag
- 8. April 2009
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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