Methods for forming metal-polymer hybrid tooling for forming parts having micro features

WO2009129430 Art A2 22. Oktober 2009

Anmelder: UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS LOWELL, NorthEastern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009129430
Aktenzeichen: EP09733301
Anmeldetag: 17. April 2009
Veröffentlichung: 22. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/203

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS LOWELL
NorthEastern University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northeastern University (Boston)

Northeastern University ist eine private Forschungsuniversität mit Hauptsitz in Boston, USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt um Metallurgie und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2002 belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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