Symmetric thermocentric flexure with minimal yaw error motion

WO2009129441 Art A2 22. Oktober 2009

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009129441
Aktenzeichen: EP09732052
Anmeldetag: 17. April 2009
Veröffentlichung: 22. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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