Robot for in-vacuum use

WO2009130011 Art A1 29. Oktober 2009

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009130011
Aktenzeichen: EP09735767
Anmeldetag: 22. April 2009
Veröffentlichung: 29. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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