Pressure control valve driving circuit for pressure-type flow rate control apparatus with flow rate self-diagnosis function

WO2009130835 Art A1 29. Oktober 2009

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009130835
Aktenzeichen: EP09734507
Anmeldetag: 18. Februar 2009
Veröffentlichung: 29. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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