Film-forming method and film-forming apparatus

WO2009131036 Art A1 29. Oktober 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009131036
Aktenzeichen: EP09734913
Anmeldetag: 14. April 2009
Veröffentlichung: 29. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06C23C14/12C23C14/58G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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