Solar cell manufacturing method, solar cell manufacturing device, and solar cell
WO2009131115
Art A1
29. Oktober 2009
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009131115
- Aktenzeichen
- EP09735577
- Anmeldetag
- 21. April 2009
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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