Method and apparatus for improved high power impulse magnetron sputtering

WO2009131737 Art A1 29. Oktober 2009

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009131737
Aktenzeichen: EP09734155
Anmeldetag: 17. Februar 2009
Veröffentlichung: 29. Oktober 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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